技术指标：
可测量元素：原子序数13(Al)～83(Bi)
X射线聚光：聚光方式
X射线源：管电压：50kV  管电流：1mA
检测器：Vortex®检测器(无需液氮)
分析范围：Φ0.1mm、Φ5mm
样品观察：彩色CCD摄像头（附变焦功能）
滤波器：3种模式自动切换
样品室：样品平台 240(W)×330(D)mm
移动量 X：220mm Y：150mm Z：150mm
载重量 10kg
重量：123kg(不含电脑)
X-ray Station：台式电脑 19"LCD(OS; MS-Windows XP®)
膜厚测量软件：薄膜FP法：（五层，各层十种元素）  检量线法：（单层、双层、合金膜厚成分）
定量分析功能：块体FP法
统计处理功能：MS-EXCEL®
报告制作：MS-WORD®
安装环境：温度：10℃～35℃(±)5℃     湿度：35%～80%
使用电源：接地三头插座 AC100、15A
 

主要特点：
★ X射线发生系统采用了聚光导管
由于采用了X射线聚光导管方式，可得到以往十倍以上的X射线强度，从而可以提高微小样品的膜厚测量及有害物质测量的精度。
★ 无需液氮的半导体检测器 
在进行薄膜测量与有害物质的浓度测量时，高分辨率的检测器是必不可少的。SFT9500的检测器不但可以达到高分辨率，而且可以实现高计数率。同时，由于使用了电子冷却方式，所以无需液氮。
★ 能谱匹配软件（选配件）
可瞬间识别未知样品与事先存档的X射线能谱库中哪一个样品较为接近的软件。对识别材料十分有效。
★ 块体检量线软件（适用于电镀液分析） （选配件）
可简单地测量出电镀液中主要金属的浓度。
★ 绘图软件（选配件） 
将元素面分析的结果进行等高线和色彩使用等视觉处理的软件。
★ 电镀液容器（选配件）
★ 各种标准物质（选配件）