技术指标：
型号：SFT9400/SFT9450/SFT9455 
仪器的特长：微小面积对应及高性能型 
可测量元素：原子序号22(Ti)~ 83(Bi) 
X射线源：小型空气冷却型高功率X射线管球(Mo靶)
管电压：50kV 管电流：1.5mA Be窗 
滤波器：一次滤波器：Mo-自动切换  二次滤波器：无 
照射方式：上方垂直照射方式 
检测器：半导体检测器+比例计数管(不需液氮的检测器)
仪器校正：自动校正+手动校正
准直器(标准配置)：○型(Φ0.015、Φ0.05、Φ0.1、Φ0.2mm)
安全性能：样品室门锁，样品防冲撞功能 
样品图像对焦：有(激光对焦)
样品观察：CCD摄像头+倍率光学器+卤素灯照明
焦点切换功能：3段切换9400：10/40/70mm
9450：10/25/40mm
X-ray Station：台式电脑：(OS; MS-Windows XP®)
打印：喷墨打印机 
应用：单层、双层、多成分合金薄膜、成分比同时测量、化学镍 
软件：块体FP法软件、薄膜FP法软件 
测量功能：自动测量、中心搜索、图像识别处理 
修正功能：基材修正、已知样品修正、人工输入修正 
统计处理功能：MS-EXCEL® 
报告制作功能:MS-WORD® 

    
   

主要特点：
★ 搭载有高功率X射线管及双检测器（半导体检测器+比例计数管）
可对应组合复杂的应用程序，特别是可识别Ni和Cu之类能量较为接近的元素。
・　能够对Ni/Cu和Au/Ni/Cu在不使用二次滤波器的情况下进行测量
・ 对于含Br的电路板，可以不受Br的干扰对Au的镀层厚度进行高精度的测量
・　可测量0.01μm以下的超薄的Au镀层厚度
★ 搭载块体FP发软件和薄膜FP法软件
对应含铅的合金镀膜和多层镀膜等，适用于广泛的运用领域
★ 适用超微小面积的测量
标准配备的15μmΦ的准直器，可对超微小面积进行测量。
★ 搭载了可3段切换的变焦距光学系统
★ 拥有防冲撞功能
★ 搭载高精度样品平台，更可测量大型线路板（SFT9455）
★ 搭载激光对焦系统
★ 搭载测试报告自动生成软件