技术指标：
型号：SFT9300/SFT9350/SFT9355
仪器的特长：微小面积对应型
可测量元素：原子序号22(Ti)~ 83(Bi)
X射线源：小型空气冷却型高功率X射线管球(Mo靶)
管电压：50kV 管电流：1.5mA Be窗
滤波器：一次滤波器：Mo-自动切换  二次滤波器：Co-自动切换
照射方式：上方垂直照射方式 
检测器：比例计数管 
仪器校正：自动校正 
准直器（标准配置）：○型(Φ0.05、Φ0.1、Φ0.2mm)  □型(0.025×0.2 mm、0.2×0.025 mm)
安全性能：样品室门锁，样品防冲撞功能 
样品图像对焦：有（激光对焦）
样品观察：CCD摄像头+倍率光学器+卤素灯照明
焦点切换功能：3段切换9300：10/40/70mm
9350：10/25/40mm 
X-ray Station：台式电脑(OS; MS-Windows XP®)
打印：喷墨打印机 
应用：单层、双层、多成分合金薄膜、成分比同时测量、化学镍 
软件：块体FP法软件、薄膜FP法软件 
测量功能：自动测量、中心搜索、图像识别处理 
修正功能：基材修正、已知样品修正、人工输入修正 
统计处理功能：MS-EXCEL® 
报告制作功能：MS-WORD® 
   
      

主要特点：
★ 搭载有75W高功率X射线管
・　能够提高X射线的生产效率，实现高精度的测量
・ 有效缩短测量时间，只需过去的1/4 
★ 搭载超微小型准直器
・　除了搭载了标准配置的50μm准直器，还有测量微小部位用的15μm准直器
・　对应所选择准直器的实际X射线光束照射的尺寸可显示在样品画面上
★ 倍率式光学系
可以准确地对微小部分进行对焦，还可以对应各测量点间有高低的样品
★ 实现了高精度自动X-Y-Z样品台与图像处理软件的高速自动测量
★ 拥有防冲功能
★ 搭载高精度样品平台，更可测量大型线路板（SFT9355）
★ 搭载激光对焦系统
★ 搭载测试报告自动生成软件
★ 搭载了高功率X射线管
★ 拥有自动测量软件以及中心搜索软件
★ 搭载了薄膜FP法软件、图像处理软件以及块体FP法软件